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Un nuovo principio per il rilevamento della viscosità del gas utilizzando elettrostatico pull-in e la sua attuazione con una microstruttura sono presentati in questo documento. Il sensore si basa sulla misura del tempo di pull-viscosità-dipendente. L'analisi dinamica non lineare di pull-in dimostra l'influenza delle condizioni di smorzamento sul coefficiente di smorzamento pull-in tempo di dispositivi che funzionano a meta-stabilità (richiedendo smorzamento specifica e condizioni di azionamento elettrostatiche) con una compressione pellicola a basse frequenze direttamente proporzionali alla viscosità. Pertanto, i fondamenti del comportamento pull-in suggeriscono che pull-in può essere utilizzato per la realizzazione di una viscosità del gas strutture parallele-piastre sensor.Capacitive MEMS con ammortizzatori squeeze film sono stati fabbricati e pull-in misure di tempo sono state eseguite per supporti gas diverso. Entrambi i gas puri (H2, CH4, CO2, CO e N2) e delle miscele (H2 u0026 lt; img border = '0' alt = src 'legame singolo' = 'http://cdn.els-cdn.com/sd/entities/ sbnd 'class =' glyphImg 'class =' 'u0026 gt; img border =, N2, CH4 u0026 lt' 0 'alt =' 'src =' legame singolo http://cdn.els-cdn.com/sd/entities/sbnd glyphImg 'u0026 gt; N2 e CH4 u0026 lt; img border =' 0 'alt =' 'src =' legame singolo http://cdn.els-cdn.com/sd/entities/sbnd 'class =' glyphImg 'u0026 gt; N2 u0026 lt; img border = classe '0' alt = src 'legame singolo' = 'http://cdn.els-cdn.com/sd/entities/sbnd' = 'glyphImg' u0026 gt; CO2) sono stati testati, con valori di viscosità del intervallo compreso tra 9 Ugg Uomo Padova e 18 u0026 nbsp; Pa u0026 nbsp; s. I risultati mostrano una sensibilità di 2 u0026 nbsp; ms / (Pa u0026 nbsp; s), che può essere ulteriormente ottimizzata manipolando la tensione di attuazione. Ulteriori sforzi sono necessari per ridurre la sensibilità del dispositivo di Prezzo Ugg New York vibrazioni esterne, che si traduce in una notevole quantità di rumore nelle misure.
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